Pohon Panasonic + motor s dutou hřídelí zajišťuje dlouhodobý-dlouhodobý, vysokou-efektivitu a stabilní provoz.
Struktura motoru s vysokou rychlostí dutého hřídele-: Jmenovité otáčky: 5000 ot./min., maximální otáčky 6000–8000 ot./min.
Mimořádně-rychlé zrychlení/zpomalení: 47750 R/S².
Nízká hlučnost, nízké vibrace, koeficient házení na konci hřídele již od 0,01 mm.
Konstrukce vakuové duté hřídele a jedinečná konstrukce konce hřídele zajišťují hladký chod kusu.
Výkon motoru: 750/1000 W, design systému-chlazený vodou, splňuje požadavky 6palcových, 8palcových a 12palcových waferů.
Přizpůsobený design konce hřídele je k dispozici pro různé uživatele.
