S rozvojem čínského polovodičového průmyslu se vývoj klíčových komponent pro procesní zařízení stal kritickým omezením vývoje zařízení. Vzhledem k tomu, že volání po lokalizaci domácích polovodičových technologií sílí, bude překonáno stále více technologií s úzkým hrdlem v polovodičovém průmyslu. Na základě dlouholetých zkušeností v polovodičovém průmyslu naše společnost vyvinula dutý-vysokorychlostní servomotor{3}}hřídele pro adsorpci waferů v polovodičových povlakovacích, vývojových a čisticích zařízeních. Tento motor se vyznačuje vysokou akcelerací, širokým rozsahem rychlostí a vysokou odezvou a byl široce chválen zákazníky v oboru.
Aplikace servomotoru s dutou-hřídelí:
Expoziční a vyvolávací zařízení (potahování, vyvolávání): Hlavní zařízení pro fotolitografické procesy, řízení potahování, expozice a vyvolávání.
Zařízení pro čištění, nátěr, vyvolávání a odstraňování filmu.
Vhodné pro fyzikální oplachové čištění, čištění částic a sprejové procesy.
Specifikace produktu servomotoru s dutou hřídelí a oblasti použití:
750W/1000W – 5000, 6000 ot./min
Oblasti použití (vyspělé-modely):
8palcové a 12palcové polovodičové vybavení.
Procesy, jako je potahování, vyvolávání, čištění a leptání.
Maximální zrychlení může dosáhnout okamžitého zrychlení 50 000 R/S².
Speciální konstrukce konce hřídele zajišťuje nejnižší koeficient házení konce hřídele.
